现以某微电子工厂中的纯化水设备工程使用膜技术的应用实例实况
，说明膜技术在电子工业纯化水制造中的应用


。其纯化水制造系统工艺流程见图。

　　1.前级UF

　　前级UF是用于去除水中的悬浊物、胶体及有机物
，降低水的SDI值
，确保RO的安全运行
。前级UF有5组，每组45根组件
，共225根组件，进水280m3/h，透过水250 m3/h


，浓缩水排放

，回收率约90%




。UF组件为美国Romicon公司生产
，型号HF-BZ-20-PM80

，组件直径5in，长43in

，内压式中空纤维膜
，纤维直径20mil（0.51mm）
，共有2940根纤维








，膜面积132ft2
，膜材料为PS（聚砜），截留分子量8万。UF前采用5μm保安过滤器






。

　　2.一级RO

　　水中加入还原剂Na2SO3（加药量为水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蚀RO膜
，加入防垢剂（NaPO3）6（加药量为5ppm）以防止CaCO3、CaSO4等在RO膜上结垢，再经5μm 保安过滤器后由高压泵打进一级RO
。一级RO有4组


，均为二段。其中三组为每组8根膜容器，呈（5+3）排列，第4组为11根膜容器

，呈（8+3）排列
，膜容器由FRP（玻璃钢）制成

，每根内装6个RO元件

，总共为210个RO元件


，进水250m3/h，透过水188m3/h，浓缩水排放
，回收率为75%




，脱盐率＞90%（初始脱盐率＞99%）
，操作压力1.55Mpa
。RO元件为美国HYDRANAUTICS(海德能)公司生产
，型号CPA3


。元件直径8in

，长40in
，卷式膜
，膜面积400ft2，膜材料为芳香聚酰胺复合膜

，元件脱盐率≥99.5%。

　　3.二级RO

　　一级RO水箱出水中一部分进入A系统，先加NaOH（CP级）调节pH为8.2-8.6
，使水中CO2生成HCO3-，被二级RO除去

，以减轻混床离子交换的负担
，采用二级RO可以使混床再生周期延长一倍

，减少再生酸碱耗量

，并可进一步去除TOC和胶体物质
。二级RO前采用3μm保安过滤器







，二级RO为一组三段
，共10根膜容器，按（6+3+1）排列，每根容器内装6只RO元件，共60只RO元件
，进水70m3/h，出水62m3/h，浓水排至超滤水箱，回收率为90%，脱盐率＞70%(初始脱盐率＞80%)
，RO元件的生产厂、型号与一级RO相同。

　　4.后级UF

　　后级UF是用于去除水中的微粒
、微生物
、胶体


、有机物等的终端过滤设备

。

　　A系统后级UF为3组





，每组18支
，共54支组件

，进水92 m3/h
，出水90 m3/h




，浓水排至一级RO水箱

，回收率约98%
。UF组件为美国Romicon公司生产，型号HF-132-20-PM10

，组件直径5in，长43in，内压式中空纤维膜


，纤维直径20mil(0.51mm)

，共有2940根纤维，膜面积132ft2


，膜材料为PS（聚砜）
，截留分子量1万


。

　　B系统后级UF为8组

，每组9支，共72支组件

，进水168 m3/h
，出水164 m3/h，回收率约98%
，UF组件制造厂及型号与A系统后级UF相同

。

　　C系统后级UF有3支组件


，进水4 m3/h，出水3.9 m3/h，回收率约98%，UF元件为美国HYDRANAUTICS公司生产

，型号4040-FTV-2120，组件直径3.94in









，长40in，卷式膜，膜面积55ft2
，膜材料为聚烯烃，截留分子量5万。

　　5.微滤

　　本系统的微滤可分为三类


，第一类为前级UF

、RO前的保安过滤器


，用于去除水中的悬浊物微粒
，降低水的SDI值，滤芯为PP（聚丙烯）膜摺迭式滤芯


，孔径为5μm或3μm
。第二类在离子交换后，用于滤除离子交换树脂碎片
，滤芯为PP膜摺迭式滤芯，孔径为1μm




。第三类在UV杀菌器后，用于滤除微生物尸体



，滤芯为N-6（尼龙6）膜摺迭式滤芯，孔径为0.45μm或0.2μm
。以上滤芯均为核工业部第八研究所生产


。

　　除上述水站外
，该厂还有另几套高纯水制造系统

，RO除使用复合膜元件外



，还有使用CA醋酸纤维素膜元件
。